日本HORIBA  S600(≤50SLM)(≤200SLM)气体流量控制器

应用;

      1.真空镀膜,LOW-E玻璃

      2.薄膜沉积系统

      3.燃料电池系统

      4.PV

      5.生物制药反应器

      6.净化空气

      7.过程分析,分析流量测试

      8.工业市场

产品特点；

     1.数字通讯；PROFIBUS model   RS-485 model

      2.小流量10SCCM~大流量200SLM

      3.橡胶密封，金属密封

      4.长期稳定性;零点长期稳定性   稳定流量控制性

      5.高精度；±1%S.P.（Set point Accuracy）

      6.快速响应；1.5sec以下(Typical 1.0sec)

      Digital Mass Flow Controller S600是采用数字信号通信，能够准确控制气体的质量流量装置，不收环境温度，供给气体压力变化的影响，按照电气信号给定的设定流量值自动调控。由于控制气体的质量流量，不受环境温度，压力等的外界影响，可以实现准确且稳定的流量测量，控制。